杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地近日傳出了振奮人心的消息，全國首臺自主研發的國產商業電子束光刻機“羲之”已成功進入應用測試階段。這一重大突破意味著，在量子芯片研發領域，中國擁有了具有自主知識產權的“中國刻刀”。

在測試現場，浙江大學余杭量子研究院的研發團隊正全力以赴地進行各項測試。這臺形似大型鋼柜的設備，其電子顯示屏上不斷跳動著各類精密參數。團隊負責人形象地比喻道：“這絕非尋常機械，而是能在發絲之上勾勒整座城市風貌的‘納米神筆’。”據悉，“羲之”是基于省重點實驗室科研成果的新一代100kV電子束光刻機，并已正式推向市場。

“羲之”之名，取自東晉著名書法家王羲之，其“毛筆”則是由高能電子束構成，能在微小芯片上精準刻寫電路。該設備專注于量子芯片及新型半導體研發的關鍵環節，精度高達0.6納米，線寬8納米，且無需掩膜版，設計靈活可變。這一特性使其尤其適用于芯片研發初期頻繁的設計調整，如同在芯片上用納米級筆觸精確繪制。

長期以來，受國際出口管制影響，國內頂尖如中國科學技術大學、之江實驗室等科研機構難以采購到此類高端設備。而“羲之”的成功問世，無疑為這一困境帶來了轉機。據報道，“羲之”的定價相較于國際市場更為親民，并已與多家企業及科研機構建立了合作關系。