近日，臺積電在歐洲舉辦了一場技術論壇，吸引了眾多行業目光。在會上，該公司負責業務開發及全球業務的資深副總經理張曉強發表了重要觀點，他透露，臺積電目前并未計劃在先進制程中引入High NA EUV技術。
張曉強進一步指出，臺積電最新推出的1.4nm級邏輯制程A14，即便沒有采用High NA EUV圖案化設備，其性能提升依然顯著。這一成果無疑增強了臺積電在先進制程技術領域的信心。
他強調，臺積電的技術團隊正致力于通過優化工藝，充分發揮Low NA EUV的潛力，以期在現有技術路徑上取得更多進展。只要這一方向能夠持續取得突破，臺積電就無需在量產中引入成本高昂的ASML High NA EUV系統。
值得注意的是，在先進制程技術領域，英特爾曾是對High NA EUV技術最為積極的倡導者之一。然而，即便是英特爾，在實際生產中應用High NA技術時也表現得相對謹慎。據悉，與臺積電A14同等名義制程的Intel 14A就提供了使用或不使用High NA的兩種選項，這進一步體現了業界對于High NA EUV技術的審慎態度。
