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AI賦能EDA,華大九天Vision引領晶圓廠良率管理新篇章

   時間:2025-08-20 17:58 來源:ITBEAR作者:江紫萱

隨著全球半導體市場的蓬勃發展,預計到2025年,晶圓代工行業的市場規模將突破1698億美元大關,這一數據由IC Insights提供。然而,在這條通往增長的道路上,晶圓廠(Fab廠)面臨著一個至關重要的挑戰:良率管理。良率,這個直接影響盈利能力的關鍵因素,正成為晶圓廠擴張過程中不可忽視的生命線。

在半導體制造領域,良率的微小提升意味著巨大的經濟收益。以存儲芯片廠為例,良率每提高1%,年度凈利潤可增長約1.1億美元;而對于尖端邏輯芯片制造廠,這一提升則能帶來1.5億美元的凈利潤增長。隨著制程技術不斷向3納米等更先進節點推進,單個12英寸晶圓的價格已飆升至2萬美元,相比5納米工藝上漲了25%,良率的重要性愈發凸顯。

傳統上,晶圓廠依賴人工經驗和基于規則的算法來管理良率。人工檢測雖精確但耗時,且高度依賴檢測人員的專業技能和主觀判斷。而規則算法在面對新型缺陷時往往力不從心,因為它們基于預設規則,難以靈活應對未知挑戰。隨著工藝復雜度的增加,這些傳統方法的局限性愈發明顯,行業急需一種更加智能、全面的解決方案。

芯片制造流程復雜,從硅片純度到光刻機對準精度,再到蝕刻溫度和薄膜沉積均勻性,每一個環節的微小偏差都可能對良率造成重大影響。更為復雜的是,這些變量之間往往相互關聯,形成一個錯綜復雜的網絡。因此,晶圓廠需要一種能夠綜合考慮所有變量,并快速定位問題根源的智能系統。

此時,電子設計自動化(EDA)工具攜手人工智能技術,為晶圓廠帶來了革命性的變革。通過整合設備、工藝和測試數據,構建多維度數據模型,AI能夠精準識別工藝偏差,分析缺陷模式,甚至實現事前預測。這一轉變不僅提高了良率管理的效率,還降低了對人工經驗的依賴。

在國產EDA領域,AI技術的引入為國產工具提供了彎道超車的機會。華大九天的Vision平臺就是其中的佼佼者。作為基于圖形的工藝診斷分析平臺,Vision通過分析半導體制造過程中圖形的變化,結合量測數據和圖像信息,有效改善了制造過程中的良率降低問題。

在工藝開發階段,Vision平臺的智能風險預測功能僅需分析芯片面積的一小部分關鍵區域,就能高效識別出大量獨特風險點,缺陷捕獲率大幅提升。同時,其生成式輪廓預測功能能夠直接根據設計版圖預測硅片實際輪廓,實現了“設計即預測”的愿景。

進入量產階段,Vision平臺的智能缺陷分析與采樣功能融合了設計屬性和缺陷特征,能夠快速定位系統性缺陷的根源,避免了因主觀判斷導致的關鍵缺陷遺漏。離線智能量測功能打破了設備對量測效率的限制,支持多種主流設備圖像的一站式處理,無需占用機臺資源。

Vision平臺無縫連接了從設計到產品的全鏈條數據,解決了傳統工具數據割裂、分析片面的問題。通過EDA與AI的深度融合,晶圓廠得以清晰地看到良率提升的路徑,為未來的市場競爭奠定了堅實的基礎。

 
 
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