據(jù)ETNews消息，三星已經(jīng)將韓國(guó)本土公司研發(fā)的EUV光刻膠(EUV PR)，用于一條半導(dǎo)體工藝線生產(chǎn)。

據(jù)悉，在日本限制出口EUV光刻膠后，韓國(guó)的東進(jìn)世美肯公司就開始研發(fā)EUV光刻膠，并在去年通過(guò)了三星電子的可靠性認(rèn)證，在不到一年的時(shí)間里，就將其應(yīng)用到生產(chǎn)線。

不過(guò)，一條生產(chǎn)線僅是三星整個(gè)產(chǎn)品線中的一小部分，但是這是完全不依賴進(jìn)口產(chǎn)品的生產(chǎn)線，因此具有特殊的意義。

由于需要考慮海外供應(yīng)商之間的關(guān)系，目前尚不清楚三星是否會(huì)將東進(jìn)世美肯EUV光刻膠用于更多的生產(chǎn)線。

據(jù)了解，光刻膠是半導(dǎo)體曝光工藝中的關(guān)鍵材料，它應(yīng)用于芯片生產(chǎn)上。

當(dāng)用半導(dǎo)體曝光設(shè)備照射光時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并改變物理性質(zhì)，通過(guò)用顯影劑沖洗掉PR來(lái)繪制微電路，只留下必要的部分。